微波氣相法石墨烯技術
氣相法（lGas phase method）制備石墨烯工藝，是指在氣態或者等離子態中，直接生長石墨烯的方法，包括化學氣相沉積法、電弧放電法等。氣相法采用管式結構，通過有機氣體等高溫等離子分解，在催化基體上生長為石墨烯材料。微波氣相法（microwave plasma vapor deposition）采用微波為能源的管式爐結構，通過微波激發等離子體形成高溫熱解沉積和生長條件，實現石墨烯制備的方法。
微波氣相法石墨烯技術的應用包括如下幾個方向：
氣相制備技術示例
氣相法（lGas phase method）制備石墨烯工藝，是指在氣態或者等離子態中，直接生長石墨烯的方法，包括化學氣相沉積法、電弧放電法等。氣相法采用管式結構，通過有機氣體等高溫等離子分解，在催化基體上生長為石墨烯材料。微波氣相法（microwave plasma vapor deposition）采用微波為能源的管式爐結構，通過微波激發等離子體形成高溫熱解沉積和生長條件，實現石墨烯制備的方法。
